グラインディングホイール

グラインディングホイール

サファイア研削用ビトホイール

1.自生発刃性が非常に良く、ノンドレスでの継続加工が可能
一般的にサファイヤの加工では、ホイールの目詰まりがしやすく、ウエーハ1枚を研削する毎にドレスを入れるのが一般的。
2.粗研削での送りスピードを非常に速く送ることが可能
他社製ホイールでは、可能な送り速度が100um/minに対し、弊社製SD325VT/SD270VTホイールではMAX800um/minで送ることが可能で、加工時間を非常に短縮することが可能です。
3.粗加工用SD325VT/SD270VTの摩耗量は研削比で10%前後
弊社独自のボンド特性により摩耗量も小さく、ノンドレスで加工することにより、更に一本あたりの研削比は10%以下を実現しました。
4. 納品先毎にスペックのカスタマイズが可能
難削材(サファイヤ)の加工では、装置の剛性・スピンドルの高トルクが要求されます。
お使いの装置に合わせて、適正ボンドを選定する事が必要になります。
多種のボンドの中から装置・加工条件に合わせて、最適な仕様の砥石を提供致します。 耐摩耗性を向上させた、4W、5W、及びLong Chip、高Chipと幅広いバリエーションの中からも、最適な砥石をお選び頂けます

*上記1.2.3は岡本工作機械製、縦軸研削盤を実験に使用しています。

グラインディングホイール

工程概略

工程概略
ビトボンド表面SEM写真

ビトボンド表面SEM写真

一般的な加工条件

Itemグラインディング
プロセス粗加工中仕上仕上げ
ホイールVT#270/VT#325VT#800/V#1000VT#1500/VT#2000
推奨加工条件主軸回転数 1200 rpm
ワーク回転数 200rpm
送り速度 200um-600um/min
スパークアウト: 10sec
リムーバル : 50um‐800um
主軸回転数 800 rpm
ワーク回転数 200rpm
送り速度 15um/min
スパークアウト: 10sec
リムーバル : 30um-50um
主軸回転数 400 rpm
ワーク回転数 200rpm
送り速度 10um/min
スパークアウト: 10sec
リムーバル : 15um

仕上げ面精度

ホイール面粗さ(Ra)TTV
VT#270500nm1-2um
VT#325400nm1-2um
VT#800150nm1-2um
VT#1000100nm1-2um
VT#150050nm1-2um
VT#200020nm1-2um

VT325加工後面粗さ(4”ウエーハ)

 

VT800加工後面粗さ(4”ウエーハ)

VT1500加工後面粗さ(6”ウエーハ)

 

VT2000加工後面粗さ(4”ウエーハ)

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